豪婿韩三千

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第67章 华卓工件到来（第1页）

海思团队的这次参观意义重大，团队信心大增，设计方案更具体，分工更明确，所有人都踌躇满志的提出关于自己板块的具体思路。

第二天路阳便停止了生产线的运行，开始分拆设备，这次的升级改造主要分三个方向。

先是镜头模组的升级，一台光刻机的镜头占据总成本的三至四成，现在使用的这台光刻机镜头组一共32枚镜片，直径1。2米，高2。3米，总重量接近1吨，上中下采用了三组结构对称的正负透镜组，负责分摊球差，平衡场曲，抵消畸变。

光刻机的镜片并非越多越好，光在每次透射或反射时，都会损失部分能量，镜片越多，对光源的能量损耗就越大。

能量损失可以通过加大光源功率弥补，但问题是镜片吸收的那部分能量会使镜片热，且这些热量又都会集中在中部的镜片组，会导致曝光焦距和场曲的变化，影响光刻的良率。

为了解决热的影响，光刻机镜头组必须配备热仿真效应和实时校准功能，根据照明条件、曝光计量以及光掩膜的透光度及时调整某些镜片的位置和形变，来进行校准和补偿。

所以中间的镜头组中，有几枚镜片是要能移动的，这无形又给镜头组增加了设计难度。

当初申城微电子在矫正主光轴的时候，简直就是噩梦级难度，花了近三年时间才完成。

如此珍贵的镜头组，还得给它外部配备水冷套装，内部配气冷套装。

于是这次镜头组改进方案就集中在减少镜片数量，再根据具体的数量设计中部镜头组，配备对应的热仿真效应与校准功能，同时还要设计全新的冷却系统，最终实现精度从9o纳米提高到28纳米。

其次便是要根据镜头组来设计整套光学照明系统，这部分难度相对要低些，浸没式光刻的技术廖老那边已有对应的方案。

最后则是双工件台的设计，路阳的解决方案就是先让它动起来，通过系统来优化。

何洪年将带来团队分成了五个大组，第一组负责镜头组设计，第二组负责照明系统，第三组负责浸没式光刻技术，第四组负责双工件台，第五组负责硬件设备。

光刻机分拆后，五个大组分五天时间研究对应部件，第一轮参观结束给出对应的优化方案。

就在生产线暂停的第三天，季一楠终于带着朱易团队赶到苏硅半导体，路阳跟何洪年在会议室见到了对方团队。

“朱教授，早闻大名，您能过来帮忙解决了我们的大问题啊。”何洪年一改往日的严肃，握着朱易的手说道，这两天工件台方面可以说是完全没有进展。

朱易年纪比何洪年要小很多，正值45岁的的黄金时期，其创建的华卓工件，是华国第一家在双工件台技术上取得突破的企业，同时还兼任清大Ic制造装备研究院副院长。

见何洪年如此热情，朱易也非常感动，毕竟海思这些年在国际上的声誉都是一次次硬仗打出来的。

“何总过誉了，小季找到我说华芯跟海思联合设计光刻机，需要我们的双工件台技术，华卓备感荣幸。”

季一楠笑着给朱易介绍道：“朱教授，这位就是我们华芯的董事长路阳。”

“朱教授，您好，实在太感谢您了，廖老一直跟我说起您在双工件台领域取得的成就，这次有您的加入我们一定能取得成功。”

感叹于路阳的年轻，朱易对华芯更加好奇了。

一周前季一楠找到了他，说华芯在制造光刻机，需要使用华卓的双工件台技术，对于一家建立不到半年的企业，朱易自然没放心上，奈何季一楠实在太能磨了，在华卓那边整整守了7天，一有机会便会给他介绍情况，几天下来，随着了解的深入，他也逐渐来了兴趣。

值得一提的是这次季一楠完全是靠自己说服的朱易，并未通过任何上层关系。

“路总还真是年轻有为啊，身在京城都能听到苏硅的事迹。”

一番寒暄介绍后，何洪年把具体的情况做了大致介绍，朱易听到要直接跨过45纳米制造28纳米精度的duV光刻机后摇头苦笑道。

“诸位高看华卓了，双工件台技术我们目前还在全力攻克9o纳米精度，距离真正的落地至少还需要2年时间，28纳米太远了。”跟随朱易一起到来的几人也纷纷点头。

海思的业内大名无人不知，再加上华微最近的事情，众人都以为这次是华微牵头找了个地方造光刻机，算是华微的反击，但听到是要制造28纳米光刻机纷纷感慨，既佩服华微的勇气，也有点觉得这是在急病乱投医。

何洪年明白华卓众人的想法，继续说道：

“这个项目的技术顾问是廖老，他对华卓的技术是非常认可的，只是廖老目前在忙着浸没式光刻技术的研，过几天他会过来，对于28纳米使用双工件台的技术难度也是知道的，廖老的意思是我们先不考虑误差问题，做出匹配28纳米精度的双工件台，他那边会组织人手来联合攻克。”

朱易双眼突然一亮，廖老的地位摆在那里，自然不会说大话，作为华国的院士，如果他组织人手攻克的话并非完全没有机会，这对华卓来说也许是一次难得的机会。

“不考虑误差？廖老真这么说了？”

“是的，如今申城微电子那边正在攻克浸没式光刻技术的团队，都是廖老组织的，可以说是华国在半导体领域最强的研团队了，如果没有他们，海思也不会把精度定到28纳米，这次过来的研团队，负责双工件台的科学家大部分是华微总部派来的，接近1oo多人。”

看来华微铁了心要做光刻机了，紧要关头能派这么多科学家参与这个项目，朱易心中那点疑虑彻底消散。

“既然廖老跟海思都下定了决心，我们一定全力以赴！”

讨论结束后何洪年带着朱易一行去车间参观，路阳带着季一楠来到一旁。

“一楠，你瘦了，人也变漂亮啦，这次的事干得漂亮！”

“哎哟，我们路总什么时候开始学会油嘴滑舌了，我不在这段时间还在跑步吗？”

“每天都在坚持打卡，你没现我变壮了吗？哈哈”

说完路阳抬起手臂，展示最近的成果。